技术成果

柔性可调频溅射电源

技术成果 · 湖南省 · 可实现柔性调频的溅射电源，包括瞬态能量平衡型电能变换系统以及自适应虚拟阻抗控制策略，适用于新一代半导体与集成电路、功率半导体在内的真空表面处理技术，可有效促进湖南省“4×4”现代化产业体系发展，打破进口垄断，突破产业链“卡脖子”难…