技术成果

半导体生产用电力电子设备制造技术

技术成果 · 湖南省 · 中频电源和射频电源主要应用于半导体及泛半导体装备。在半导体及泛半导体设备电源制备技术方面，重点开展了电弧快速检测与精确识别、电弧能量动静态综合抑制等关键共性技术研究。开发了工艺效果-电源参数通用匹配方法、电弧精准快速识别与灵活抑…