技术成果
技术成果 · 产品为集成光学干涉测量和纳米探针测量，可快速实现缺陷精确定位和缺陷形貌复查。采用自研光学相位干涉扫描技术，在大范围内以超高灵敏度对异常区域定位。自研纳米探针，对缺陷形貌实现三维测量。闭环双伺服系统控制系统，可实现12寸晶圆的XY导向扫描。…
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