技术成果

高性能铌酸钾钠无铅压电薄膜及在微电子机械系统(MEMS)中的应用

技术成果 · 新材料 · 压电薄膜MEMS器件具有广阔应用前景。团队已掌握最新KNN基单晶外延薄膜相关知识和技术，性能是铅基薄膜的两倍。基于此，拟绕过市场上竞争激烈但终将被淘汰的有毒的铅基PZT薄膜，“先人一步”直接开展无铅KNN基单晶外延薄膜材料及器件研究，最终…