技术成果

一种真空抽气系统

技术成果 · 高端装备制造 · 安徽省 · 公知的高真空抽气系统是由机械泵和分子泵直接串联而成。在低真空条件下由机械泵工作，高真空条件下由分子泵工作。但是，真空泵返油一直是影响这种真空抽气系统性能的重要问题。机械泵油气和分子泵油气会沿着真空管道逆流进入真空腔室，污染真空腔室表…