技术成果

氮化钛/碳化钛流态化气相沉积新技术

技术成果 · 新材料、新能源 · 北京市 · 技术简介及特点本项目在流态化技术的基础上，基于气-气化合反应和形核-生长理论的基础研究成果，设计开发了具有活化特性的钛源体系，实现了定向还原和沉积强化，降低了传统工艺制备氮化钛/碳化钛的温度，提高了沉积效率，研发出了适合于工业中连…