技术成果

同步相移剪切干涉测量技术及仪器开发

技术成果 · 陕西省 · 本项目针对非球面元件的高精度和批量化快速检测需求，提出采用自适应动态非球面光学元件面形的快速检测技术，开展了绝对共光路同步相移横向剪切干涉测量技术、自适应动态部分补偿非零位测量技术、可变剪切量和剪切方向的高灵敏度范围测量技术以及单帧…