技术成果

高精度大口径离子束面形修正抛光设备

技术成果 · 陕西省 · 本成果在离子束精密修型技术研发储备大量成熟技术的基础上，研制了一套高精度大口径离子束面型修正抛光设备。该成果基于离子溅射原理，非接触加工方式，可加工各种异形和大口径高精度光学元件。同时，自主设计研制了一套三轴大行程联动控制精密运动平…