技术成果

集成多通道滤光片制备技术

技术成果 · 陕西省 · 本成果是针对我国后续遥感探测对多波段滤光片的应用需求，开发集光刻与镀膜于一体的多通道滤光片技术，利用离子束辅助沉积多层薄膜应力的调控机理与掩模光刻过程对滤光片性能的影响机制，制备集成多通道滤光片。