技术成果

RPS 微波等离子刻蚀系统及工艺技术

技术成果 · 陕西省 · 本项目开发了远端自由基等离子体的真空刻蚀系统和硅基光学元件加工工艺技术和方法，有效地提高了中大口径光学元件损伤层快速去除等离子体加工工艺技术，并在硅基半导体加工方面展开了应用。在大型强激光光学系统以及激光武器系统中，需要大量中大口径…