技术成果

光学元件表面缺陷检测技术及应用开发

技术成果 · 陕西省 · 该成果围绕传统光学元件表面缺陷检测方法检测速度慢、客观性不足等问题，基于表面缺陷散射理论构建了光学元件表面缺陷散射模型，实现了表面缺陷几何特征的反演；提出了大动态范围散射信号获取技术，解决了散射信号探测器动态范围不足的问题，实现了高…