技术成果

大行程超精密对准装置

技术成果 · 陕西省 · 本项目依托于我们在光刻机制造领域相关核心技术的经验和积累，自主研发了具有完全自主知识产权的大行程超精密对准装置。掌握了大量程超精密测量，大行程柔性操控平台设计、精密控制与补偿、精密系统标定与集成等核心技术。突破了国内现有精密检测和精…