技术成果

白光干涉仪（光学轮廓仪）

技术成果 · 半导体与集成电路、光电子与激光 · 陕西省 · 项目简介 Xshape-I 系列白光干涉仪是一款完全国产化的高端光学无损 3D 检测仪器，针对微纳结构、几何关键尺寸、粗糙度和表面轮廓等。目前在高端制造业应用有：半导体晶圆检测、超精密光学元件制造、微机电系统 MEMS 检测、高端机械…