技术成果

超高真空离子辅助原子级界面低温键合系统

技术成果 · 半导体与集成电路、光电子与激光 · 陕西省 · 项目简介随着功率电子器件、集成电路芯片及新型光电集成芯片的发展，纳米集成与封装、异构集成成为当前的研究热点之一。本产品主要应用于功率电子器件、集成电路芯片及新型光电集成芯片的纳米集成、电子封装和异构集成，克服了传统芯片键合中的中间键…