半导体生产用电力电子设备制造技术

中频电源和射频电源主要应用于半导体及泛 半导体装备。在半导体及泛半导体设备电源制备技术方面，重点 开展了电弧快速检测与精确识别、电弧能量动静态综合抑制等关 键共性技术研究。 开发了工艺效果-电源参数通用匹配方法、电弧精准快速识别 与灵活抑制技术、射频电源电路参数精确提取与可靠性设计等新 方法新技术，突破了半导体工艺设备用射频电源射频主开关管电 压应力过高、匹配网络高效热管理效果欠佳等关键技术瓶颈。解 决了传统电源研发过程中依赖反复迭代以适配工艺要求而导致的 设计周期长与研发成本高等问题，该技术有利于减小电弧对负载 的损害，实现动静态电弧能量综合管理。

应用该技术开发了二款半导体设备电源： 中频电源、射频电源，中频电源现已完成部分产品定型并应用于 电池镀舟镀膜生产工艺，较现有产品具有输出频率更宽、转换效 率更高、膜厚更均匀等优势，具备了产业化转化条件。射频电源 — 31 — 已完成样机研发，但尚未完成产品定型。