新材料面议TRL 6

石墨烯快速制备技术

西安交通大学· 发布于 2026-10-10

成果概览

完成单位
西安交通大学
所属领域
新材料
转化方式
面议
发布时间
2026-10-10
技术成熟度(TRL)TRL 6 / 9 · 技术开发阶段
TRL 1–3 · 基础研究TRL 4–6 · 技术开发TRL 7–9 · 产业化

成果简介

石墨烯可以视为单层石墨结构,其独特的二维结构及其优良导电性使其在微电子、半导体、电池以及防腐涂层中得到应用。目前石墨烯生产方法主要有机械剥离法,化学气相沉积法,电辅助氧化法和氧化还原法。表1里列举了这几种方法的优缺点。表1 石墨烯各生产方式优缺点对比生产方式优点缺点石墨烯品质较高,操作获得的石墨烯尺寸不稳定,无法实现量机械剥离法简单,成本低廉产。操作相对简单,石墨烯可以大面积生长,得到高温工艺,成本高;只能达到平方厘米化学气相沉积法的石墨烯较为完整,质的量级,难以满足石墨烯的工业化应用量较好难以控制石墨烯生长层数;石墨烯较难电辅助氧化法生产设备简单从 SiC 基板上转移;使用强氧化剂,有害气体产生。石墨烯在生产过程易发生不可逆转的团简单易行的工艺成、高聚;氧化还原的过程中,电子结构及晶氧化还原法效且成本较低体的完整性易被破坏,难以生产高品质产品;生产废液造成环境污染。本团队开发的石墨烯采用气氛-电弧法,可以实现石墨烯的快速制备。相比于传统石墨烯制备方法,它具有如下优势: 1)生产效率极高。氧化法制备石墨烯耗时约 3-7 天电弧法可在几分钟到十几分钟内完成,效率是普通方法的400多倍。 2)可实现自动化。电弧法制备石墨烯属于纯物理法,从填料,抽气,放电,到收集,整个过程都可以用设置程序完成,实现自动化。 3)清洁,无污染。传统的化学氧化法要大量使用浓硫酸,磷酸,高锰酸钾,硝酸盐等,制备过程中会造成空气污染和水污染,工人的操作环境差。而电弧法在密闭的腔室中完成,而且不会产生污染物。 4)材料纯度高。物理电弧法不会引入杂质对石墨烯造成污染,而且电弧放电是持续稳定的,因此,石墨烯的纯度高,均一性好。电弧法制备的石墨烯形貌如图1 所示,石墨烯为小尺寸片状形貌,透射电镜(图1c,d)显示石墨烯为1-7层不等的碳原子层组成。图1 石墨烯形貌表征

主要技术指标

【技术指标(性能参数)】层数 1-7层纯度 90%(视石墨棒加工方法)尺寸 200-500 nm

适用场景 / 行业标签

集成电路新材料第三代半导体电气机械和器材制造业新材料产业

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