白光干涉仪（光学轮廓仪）

Xshape-I 系列白光干涉仪是一款完全国产化的高端光学无损 3D 检测仪器，针对微纳结构、几何关键尺寸、粗糙度和表面轮廓等。目前在高端制造业应用有：半导体晶圆检测、超精密光学元件制造、微机电系统 MEMS 检测、高端机械装备制造、微电子表面涂层、薄膜制造等。图1 白光干涉仪仪器测量范围能实现从超光滑表面粗糙度到 200 um 的台阶；表面反射率从 0.5%~99.9%的样品均可适用；满足 2~12 英寸硅片或晶圆等的无损检测。

【仪器特点】 全部采用国产化的系统设计 采用国产化的白光干涉物镜 光源采用 LED 白光照明光源，适用寿命长，或者采用外置特种光源 测量模式：采用VSI和PSI 两种测量模式，适应于不同的表面测量需求 依据面粗糙度标准 ISO25178, 线粗糙度标准 ISO4287, 平整度标准 ISO12781 检测精度高，Z 分辨率 0.1~1 nm，精度 20~50 nm 被测表面反射率从 0.5%~99.9% 可实现单视场的三维检测，也可实现大范围的三维拼接检测 最大可检测 12 英寸晶圆 图像分辨率达 200 万像素 【软件介绍】Xshape-I 系列白光干涉仪配备 WLI 白光干涉分析软件，软件依据面粗糙度标准ISO25178,线粗糙度标准 ISO4287,以及几何技术规范 ISO12781。软件集成自动化控制，图像采集以及数据处理与测量功能，采用 VSI 和 PSI 两种表面三维形貌算法，可以满足于各种微纳表面三维轮廓的检测，例如：机械加工的粗糙面，研磨抛光或者腐蚀的表面，光刻表面，晶圆表面，光学抛光表面，纳米压痕表面等。软件特点： 1. 软件操作简便，易学易用，实用性强 2. 包括 VSI 和 PSI 两种三维形貌检测算法 3. 可以方便快捷检测多种类型表面的形貌相关参数 4. 具有自动三维图像拼接功能软件功能： 1. 相机打开，以及相机的参数设置 2. 物镜扫描器的设置以及控制 3. XY 工作台以及 Z 轴调焦的移动控制与设定 4. 软件具有 VSI 和 PSI 两种算法功能，以针对不同形貌表面的检测 5. 软件采集图像完成后可自动计算出表面三维形貌 6. 自动计算出面粗糙度参数。划线选择分析截面的位置，计算出截面位置的轮廓参数 7. 可测量单一视场的三维形貌，也可通过图像拼接实现大范围的三维形貌检测 8. 软件有图像的调整，滤波，轮廓提取，噪声拟制等数据处理功能 9. 表面三维形貌的解包裹，以及三维形貌的调平 10. 三维轮廓截面的提取，以及形貌的参数的检测图2 软件界面图3 检测案例