柔性可调频溅射电源

可实现柔性调频的溅射电源，包括瞬态能量 平衡型电能变换系统以及自适应虚拟阻抗控制策略，适用于新一 代半导体与集成电路、功率半导体在内的真空表面处理技术，可 有效促进湖南省“4×4”现代化产业体系发展，打破进口垄断，突破 产业链“卡脖子”难题。 专注于柔性可调频溅射电源研发及推广应用，本项目申请发 明专利与计算机软著共8项。经多年潜心基础研究，共发表学术论 文5篇，均为高被引文章。 目前已经在湖南红太阳新能源科技有限公司工信部光伏智能 制造示范车间完成试样并运行超过一年，并通过湖南省电子信息 产业研究院的质量检验，符合CNAS与赛宝标准，成熟度高。各项 指标均优于美国AE与德国TRUMPF同类型产品，且能够智能识别 电弧。部分共性技术研究曾获得国家重点研发计划战略性科技创 新合作重点专项与长沙市“揭榜挂帅”重大科技项目资助。

柔性可调频溅射电源总体性能指标如下： 1、产品重量：溅射电源仅为53kg(进口产品分别为100kg)，整 体设计紧凑，便于系统集成和安装运维； — 23 — 2、整机效率：电源整机效率92.7%(进口产品为91%)，显著提 升能效，降低运行成本； 3、电弧响应时间：溅射电源电弧响应时间仅63.4ns(进口产品 为100ns)，单位时间硬弧发生次数0.46(进口产品为0.89)，可快速 抑制异常放电，保障工艺稳定性，提升设备可靠性； 4、输出调整时间：溅射电源满载输出调整时间160.9μs(进口 产品为200μs)，放电能量更快速准确响应工艺需求； 5、输出功率控制精度：溅射电源输出功率控制精度<40W(进 口产品为<60W)，电源控制精度更优。