先进制造技术转让/技术入股/合作研发TRL 5
一种真空抽气系统
中国科学院合肥物质科学研究院· 发布于 2026-10-10
成果概览
- 完成单位
- 中国科学院合肥物质科学研究院
- 所属领域
- 先进制造
- 转化方式
- 技术转让/技术入股/合作研发
- 发布时间
- 2026-10-10
技术成熟度（TRL）TRL 5 / 9 · 技术开发阶段
TRL 1–3 · 基础研究TRL 4–6 · 技术开发TRL 7–9 · 产业化
成果简介
公知的高真空抽气系统是由机械泵和分子泵直接串联而成。在低真空条件下 由机械泵工作，高真空条件下由分子泵工作。但是，真空泵返油一直是影响这种 真空抽气系统性能的重要问题。机械泵油气和分子泵油气会沿着真空管道逆流进 入真空腔室，污染真空腔室表面及内部部件，从而不能满足高标准真空抽气的要 求。本发明目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种真空抽气系统，该真空 抽气系统可以抑制返油问题，提高真空腔室洁净度。本发明结构设计合理，利用 等离子体发生器与真空泵技术组合成一种新真空抽气系统，工作过程中耗能低， 不需要其他工作介质。 2019.10.15授权发明专利《一种真空抽气系统》专利号CN108131274B
适用场景 / 行业标签
制造石油和天然气开采业管道运输业专业技术服务业