深紫外准分子激光器系列产品

准分子激光是重要的紫外波段激光光源，具有波长短、光子能量高、脉宽小、 空间相干性低等一系列特点，在诸多领域具有独特的应用，主要包括：工业领域 的半导体光刻、平板显示器退火、精细加工；医疗领域的近视眼矫正和白癜风皮 肤病治疗等医疗设备；科研领域的光谱学研究设备和材料学中的薄膜沉积制备等。 准分子激光自诞生以来，从研究走向应用，目前已经在工业、医疗、科研等 领域发挥着不可替代的作用，并且还在不断开辟出新的应用领域。我国作为制造 业大国对准分子激光器的需求巨大，然而，准分子激光器和准分子相关制造设备 却长期几乎完全依赖进口。发展拥有自主知识产权的准分子激光器技术和相应的 加工设备，对于缩短和消除我国在高端制造领域与世界领先水平的差距，对促进 我国经济结构调整，提升整体经济质量具有显著的战略意义。