先进精密光学薄膜制造技术

光学薄膜是光学元器件制造的关键技术之一，其应用无处不在，从眼镜镀膜到手机，电脑，电 视的液晶显示再到LED照明等等，它关系到我们生活的方方面面。先进光学系统，如高能量高功率 激光器、拉曼光学、荧光显微等，对光学薄膜提出了极高的要求。目前，这类先进光学系统上使用的 关键光学薄膜器件仍然主要依赖进口。本组在超低损耗高损伤阈值激光薄膜和超精密滤光片两个 领域具有大量的技术储备。研制的可见 - 近红外高阈值光学膜承载的峰值功率可达到 GW 量级， 超反射膜的总损耗达到了20ppm以下，并制备成功了多款拉曼、荧光滤光片，性能达到了国际顶 级滤光片生产商同类产品的水平。目前，我们有能力承担193nm到10.6um 的各类先进光学薄膜 元件的研制任务。