氮化钛/碳化钛流态化气相沉积新技术

技术简介及特点 本项目在流态化技术的基础上，基于气-气化合反应和形核-生长理论的基础 研究成果，设计开发了具有活化特性的钛源体系，实现了定向还原和沉积强化， 降低了传统工艺制备氮化钛/碳化钛的温度，提高了沉积效率，研发出了适合于 工业中连续规模化生产的流态化气相沉积氮化钛/碳化钛新技术。通过对四氯化 钛在氮源/碳源中的价态迁移规律(反应组成、反应温度、进气速度、流化状态等 工艺条件)的研究，结合流态化强化技术完成了流态化气相沉积氮化钛/碳化钛的 装置设计。新工艺较传统工艺成本降低约 30%。 专利及进展情况 目前已申请发明专利 6项。 产业化前景分析 目前我国氮化钛和碳化钛的年需求共约 300吨，商业低品质氮化钛和碳化钛 粗粉约 26～38万元/吨，而高品质氮化钛和碳化钛粉体约200 万/吨，特别是 3D 打印球形碳化钛粉体约 280 万/吨。随着现代工业不断发展，高熔点、高硬度、 耐腐蚀、高导热导电的氮化钛和碳化钛在增材制造、电子信息、机械加工、生物 电化学等领域的需求将会急剧增加。本项目开发出流态化气相沉积氮化钛/氮化 钛新技术，通过调节工艺参数可以获得不同形貌和结构的涂层或粉体，特别是能 够生产高品质球形粉体，粉体粒径可控(20nm～200μm)，产品杂质含量低，且大 幅度降低了成本。该技术适用性强、环境友好、节能减排和社会经济效益显著， 具有良好的推广应用前景。 转让方式 技术转让 许可适用 尺寸均一、可控的乳液、微球微囊制备技术