关键技术及产业化应用

技术简介及特点 多晶硅是一种超高纯材料，是当今光伏产业为代表的新能源快速发展的核心 材料，是国家鼓励优先发展的战略材料。目前主流且成熟的生产工艺是改良西门 子法生产多晶硅技术，做为国家重点研发项目虽然已有中国恩菲等研发机构开发 了工艺且实现的量产，由于国外技术封锁，提纯技术是工艺核心单元也是影响其 产品质量的技术瓶颈，产品纯度高(9个 9)和提纯工艺能耗高是两个重要技术指 标。项目团队自 2008 以来一直从事改良西门子法生产多晶硅工艺氯硅烷体系提 纯单元关键技术的研发，针对提纯产品三氯氢硅纯度高（9 个9）和能耗高（回 流比大于 50）的技术瓶颈，一是创新性地开发了高效IPE-PAC 双层丝网填料(理 论板数大于 8)替代板式塔分离效率不高的缺点，打破了国外德国WacKer 公司和 美国 REC公司的技术垄断，彻底解决多晶硅生产技术的提纯纯度不达标直接影响 产品质量的技术瓶颈；二是开发了系统闭式多级提纯和多效热耦合集成关键技术， 提出后产品稳定在 9个 9 以上，系统能耗节能＞40%（能耗＜24 吨蒸汽/吨产品）， 物料利用率＞99%，技术指标均处于国际领先水平。 专利及进展情况 已申请 8 项发明专利，其中授权5 项，形成了一整套工艺技术+核心装置的 专利集群。自 2009年建立了 1000吨/年多晶硅氯硅烷提纯装置以来，陆续在国 内建立 20余套工业示范装置（最大单套规模3 万吨/年多晶硅装置），对国内 20 余家近 90%以上多晶硅企业进行了技术转让，示范装置均实现了稳定运行，在氯 硅烷提纯与节能领域逐渐形成了具有自主知识产权的民族技术品牌，近年来多次 与国外专利商的技