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新材料

晶圆刻蚀用超净石英环的研发

预算 150万元江苏富乐德石英科技有限公司

需求要点

技术关键词
新材料集成电路超净石英环晶圆刻蚀材料

需求描述

升级石英环洗净技术，形成晶圆刻蚀机用超净石英环石英环生产规模化主要技术参数：超净石英环产品表面洁净度指标达包括表面无机物

技术要求

升级石英环洗净技术，形成晶圆刻蚀机用超净石英环石英环生产规模化主要技术参数：超净石英环产品表面洁净度指标达包括表面无机物 升级石英环洗净技术，形成晶圆刻蚀机用超净石英环石英环生产规模化主要技术参数：超净石英环产品表面洁净度指标达包括表面无机物

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