半导体装备零部件用三坐标智能定位自动检测

开发半导体装备零部件三坐标智能定位自动检测，实现零部件三坐标检测智能定位，检测设备连续不间断自动测量多个、多种零部件检测任务，打破单件、单一品种执行检测测量，减少人员参与，提升检测质量和效率。

零部件在三坐标测量机上，智能自动定位一次性连续不间断的检测多个、多种零部件任务，并将检测结果数据形成结构化，实现测量结果数据精准传递。 零部件定位准确率100%,对照零部件信息自动调用三坐标检测程序并放入指定地址，准确率100%，支持多个、多种型号零部件程序不间断连续运行。