新材料
G6 AMO LED产线用精密金属掩模版及因瓦合金箔材的开发及产业化
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需求要点
技术关键词
新材料高端装备金属掩模版因瓦合金箔材
需求描述
G6 AMOLED产线用精密金属掩模版及因瓦合金箔材的开发及产业化，解决国内OLED面板厂因DNP对FMM的全球品质垄断和差异化供给。
技术要求
形成从原材料Invar到FMM产品的自主化开发，突破FMM产品被日本DNP全球垄断局面。 开口尺寸精度±2µm；长度控制精度（TTP_X）±10µm；宽度控制精度（TTP_Y）±2.5µm；直线度±10µm；Step Height<210µm；Step Width<1µm。
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