一种自组装与激光诱导的微透镜阵列大面积快速制备方法和装置

研发自主可控的高精度、低成本的微透镜阵列制备技术和全流程控制技术，测试微透镜阵列的性能表征，实现工程应用，实现批量化生产与销售。

1.厘清自组装过程中玻璃基底表面润湿性及微纳米颗粒材料、尺寸对MLA填充因子、透过率及均匀性的影响规律与作用机理，基于激光诱导通过构建准周期或微纳复合结构，增加角分布均匀性并建立阵列微单元形状与折射率的可控制备机理； 探索高精度低成本MLA的可定制快速大面积制备方法与优化工艺流程，设计宽范围焦距、圆形或柱形阵列子单元尺度的高精度调控技术，实现微透镜阵列在高端重大装备中的光束整形、匀化光斑、波前诊断、波分复用等功能，满足高效率、高精度、低成本、无污染和大规模制备的要求； 子透镜阵列单元形状包含圆形和柱形、子透镜尺寸选择范围100nm-1mm可控、列阵不均匀性＜3%；填充因子＞90%，焦距可定制，300nm-1100nm子透镜反射率﹤10%。圆形或柱形平面微透镜阵列核心技术参数全部达到国外对标产品的要求，达到国际先进水平。