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高飞

高飞

教授男

大连理工大学集成电路学院

集成电路电气机械和器材制造业研究和试验发展新一代信息技术产业

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个人简介

【产业方向】电子信息

研究领域

射频等离子体源物理基础研究脉冲调制射频感应等离子体刻蚀机理研究射频负氢离子源物理基础研究射频等离子体与材料相互作用研究新型射频放电机理探索所在

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