邓辉
邓辉
长聘教授（研究员）、博士生导师
南方科技大学
迁移与重构）基于物理化学原理的原子精度加工技术等离子体先进制造人工智能赋能半导体先进制造工艺与装备
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个人简介
南方科技大学机械与能源工程系长聘教授（研究员）、博士生导师。担任广东省精密光学工程重点实验室主任、深圳市半导体专用设备工程研究中心主任、华为-南方科技大学超精密制造与测量创新实验室主任。课题组面向半导体、陶瓷和金属材料开展原子级超精密制造关键技术研究。
研究领域
代表性论文 1 篇
- 围绕原子尺度超精密制造开展研究工作，承担深圳市半导体专用设备工程研究中心、华为-南方科技大学超精密制造与测量创新实验室等平台建设（网页未列论文完整清单）。
荣誉奖励
- 未查到人才称号；现担任广东省精密光学工程重点实验室主任、深圳市半导体专用设备工程研究中心主任、华为-南方科技大学超精密制造与测量创新实验室主任