一种基于电场调制的平面二维时栅位移传感器

专利概览

申请人

重庆理工大学

发明人

彭凯;许小虎;滕文皓;田雨鑫;陈佳星

申请号

CN202611098387.8

主分类号

G01B7/02

IPC

G01B7/02

摘要

本发明公开了一种基于电场调制的平面二维时栅位移传感器，属于测量传感技术领域。在动尺基体上设置有由四个传感单元构成的传感单元组，传感单元由激励电极和感应电极组成，激励电极沿X和Y方向错位排列，并连接形成N相激励电极组。感应电极布置在激励电极形成的间隙中，同一传感单元内的所有感应电极电连接形成感应信号输出端。定尺基体上设有多个调制单元，并与激励电极、感应电极构成平面电容耦合结构。当动尺基体相对于定尺基体移动时，调制单元会使得平面电容的电容值交替变化。本发明输入和输出信号均位于动尺基体上，定尺基体无需引线，有效降低了因引线电阻、电容及寄生参数引入的信号衰减问题，提高了传感器信号稳定性和传输效率。

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许可费

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