一种半导体用导电陶瓷搬运手臂梯度控阻制造方法及由其获得的产品

专利概览

申请人

杭州蒲丰视觉检测科技有限公司

发明人

李祥永;陈红军;顾曹鑫;胡俊庆;陈丰农;黄丽园;麻红权;俞扬网;李汪科;王虎

申请号

CN202611114525.7

专利号

CN202611114525.7

法律状态

2026.08.21#公开;2026.09.08#实质审查的生效;2026.09.29#授权

主分类号

H10P72/76

IPC

H10P72/76;H10P72/30

摘要

本发明涉及一种半导体用导电陶瓷搬运手臂梯度控阻制造方法及获得产品。该方法包括：获取搬运手臂三维模型并划分晶圆接触支承区、真空气道邻近区、臂根接地区和边缘绝缘缓冲区，设定目标电阻率；配制多组含导电相陶瓷浆料并建立预测电阻率关系；按目标电阻率反选或插值形成分区浆料，制备带牺牲型芯的梯度坯体；经脱脂、型芯去除和分段气氛共烧结形成连续耗散通路；烧结后进行电阻映射及局部修正，得到具有封闭真空气道和分区电阻率梯度的导电陶瓷搬运手臂。该方法能够兼顾静电缓释、臂根泄放、气道孔缘缓冲和结构可靠性。

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许可费

面议