一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置

专利概览

申请人

华中科技大学

发明人

刘世元;张传维;史铁林

申请号

CN200810197279.1

专利号

CN200810197279.1

法律状态

2009.03.25#公开;2009.05.20#实质审查的生效;2010.06.16#授权

主分类号

G01B11/22

IPC

G01B11/22;G01B11/02;H01L21/66

摘要

本发明公开了一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置。其方法是将线偏振红外光束投射到含有深沟槽结构的样件表面，对沟槽结构各界面反射光形成的干涉信号进行滤波等处理得到测量反射光谱；采用基于偏振的等效介质理论构建该深沟槽结构等效光学模型，计算其理论反射光谱；采用人工神经网络结合局部搜索算法的快速参数提取方法，通过理论反射光谱拟合测量反射光谱，快速提取沟槽的宽度和深度，实现深沟槽几何形貌参数的精确在线测量。装置包括红外光源，红外偏振片，干涉仪，平面反射镜和二个离轴抛物镜以及红外探测器。装置可实现场效应管和动态随机存储器中高深宽比深沟槽结构加工过程深度及宽度的在线测量，具有非破坏性，快速和低成本的特点。

转化信息

许可费

面议