APS太阳敏感器可识别多孔掩膜板

专利概览

申请人

北京控制工程研究所

发明人

崔坚;张建福;余成武;莫亚男;王立;刘江

申请号

CN200910237338.8

主分类号

G03F1/14

IPC

G03F1/14;G01C21/02

摘要

APS太阳敏感器可识别多孔掩膜板，所述的掩膜板包括玻璃基板及镀膜层，玻璃基板下表面镀膜，玻璃基板镀膜面上光刻至少3个成像小孔，任意两个成像小孔之间x方向距离、y方向距离中至少一个方向距离差异不小于20个像素，成像小孔方形区域边界边长不超过d单位mm，d＝L-2htanα；其中，L为APS太阳敏感器中的图像传感器有效像平面边长；h为掩膜板到所述的图像传感器像平面的距离；α为APS太阳敏感器的视场角。本发明采用多孔阵中孔间特征独立，可快速识别被污染小孔，保证产品具有高的数据更新率，适于工程应用。

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