技术专利

一种导轨融合型气体静压伺服进给系统及方法

本发明公开了一种导轨融合型气体静压伺服进给系统及方法，属于精密、超精密加工技术领域，包括外壳，外壳的两端设有轴承端盖，轴承端盖内侧设有衬套，衬套与轴承端盖组成轴承定子，轴承端盖的侧部设有若干个可拆卸连接的导轨插件，导轨节流器安装在导轨插件的预设槽内，导轨插件的端部设置导轨挡板，外壳的外侧套设平台；轴承端盖、外壳以及导轨均套设在丝杠上；实现了高刚度、高稳定性、低振动、低热误差的超精密直线进给，可根据负载实时自适应调节气膜工作性能；系统结构紧凑，制造与装配难度降低；可控节流器实现无线自供电，运行可靠，保持定位精度。