大口径高精度平面干涉技术及应用开发

随着多项国家重大科学工程研究的开展，在能源技术、空间技术和信息技术 的共同需求牵引下，要求光学系统适应强激光、高聚能等一系列苛刻工作方式， 对超精密光学元件的技术指标要求越来越高，受西方国家对华禁运影响，大口径 高精度面形检测技术已成为大口径光学元件制造和应用的瓶颈，严重制约了制造 精度和工艺水平的提升。大口径高精度平面面形检测采用激光波长调谐相移原 理，结合菲索干涉技术，通过控制干涉系统的腔长和激光光源的波长，获得稳定 的相移干涉条纹，经计算机图像处理，实现了大口径平面光学元件面形精确测量。

关键技术： 1) 大口径高质量平行光获取及评价技术 2) 高分辨率波长调谐非线性校正技术 3) 高精度标准平板校正方法与误差补偿技术 技术指标： 1) 测量口径：320mm； 2) 条纹分辨率：1024*1024； 3) 波长调谐范围：632.5-640nm； 4) 测量精度：λ/100（λ＝632.8nm）。