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新材料来源课题：2023年第一批揭榜挂帅（陕科资函〔2023〕256号）

半球谐振子金属化镀膜及多自由度离子束调平技术及装备研发

西安航晨机电科技股份有限公司

需求要点

技术关键词
新材料高端装备金属化镀膜离子束调平

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