一种915MHz大面积金刚石沉积系统的研发

研发一种915MHz大面积金刚石沉积系统，金刚石作为重要的半导体材料，目前最先进的金刚石合成方法为微波等离子体化学气相沉积技术，工业上微波的常用频率为915MHz和2.45GHz，现有2.45GHz设备功率低，沉积面积一般在2到3英寸，是目前国内市场上的主流设备，而915MHz设备功率大，成熟程度低，国内只有少量科研设备，且沉积面积多小于5英寸，因此无法满足对大尺寸金刚石的需求。现需要一种915MHz大面积金刚石沉积系统，该系统属于《产业基础创新发展目录》中新材料中的半导体精密加工工艺与装备领域，同时也属于工业“六基”中的关键基础材料和产业技术基础领域，使用该系统可实现6英寸级金刚石沉积。

1.突破技术瓶颈，达到参数指标要求； 2.实现6英寸级金刚石沉积，完成样机交付 1.基片台直径不小于152.4毫米，可实现6英寸级金刚石沉积； 2.沉积区域温差可控制在50℃以内； 3.同时兼具腔体和基片台水冷设计与基片台升降功能设计； 4.微波功率在10~50kW连续可调； 5.红外测温范围300-1400℃； 6.设备软件支持远程监控功能。