高纯度金刚石、合金材料与制备技术

技术需求： 1.高纯度合金材料与制备技术；2.高功率化学气相沉积装备制造及开发；3.微米及亚微米级金刚石表面的改性及应用；4.固结金刚石工具的磨损行为建模分析；5.915 mhz微波等离子体化学气相沉积系统；4英寸单晶晶圆制备。 技术需求详情：高纯度铁钴合金制备技术，气孔率低于1%，氧含量< 50ppm，镍含量<30ppm，铝含量< 10ppm，硫含量< 10ppm，，硅含量低于10ppm，硼含量<3ppm。

技术需求： 1.高纯度合金材料与制备技术；2.高功率化学气相沉积装备制造及开发；3.微米及亚微米级金刚石表面的改性及应用；4.固结金刚石工具的磨损行为建模分析；5.915 mhz微波等离子体化学气相沉积系统；4英寸单晶晶圆制备。 技术需求详情：高纯度铁钴合金制备技术，气孔率低于1%，氧含量< 50ppm，镍含量<30ppm，铝含量< 10ppm，硫含量< 10ppm，，硅含量低于10ppm，硼含量<3ppm。 技术需求： 1.高纯度合金材料与制备技术；2.高功率化学气相沉积装备制造及开发；3.微米及亚微米级金刚石表面的改性及应用；4.固结金刚石工具的磨损行为建模分析；5.915 mhz微波等离子体化学气相沉积系统；4英寸单晶晶圆制备。 技术需求详情：高纯度铁钴合金制备技术，气孔率低于1%，氧含量< 50ppm，镍含量<30ppm，铝含量< 10ppm，硫含量< 10ppm，，硅含量低于10ppm，硼含量<3ppm。