技术专利盘活专利发明专利2026.08.21#公开;2026.09.08#实质审查的生效;2026.09.29#授权
一种用于球面光学元件表面缺陷暗场检测的自适应孔径角环形照明系统和方法
浙江大学· 浙江· CN202611106210.8
专利概览
- 申请人
- 浙江大学
- 发明人
- 刘东;赵效彬;郑剑锋;王狮凌;李溪远
- 申请号
- CN202611106210.8
- 专利号
- CN202611106210.8
- 法律状态
- 2026.08.21#公开;2026.09.08#实质审查的生效;2026.09.29#授权
- 主分类号
- G01N21/88
- IPC
- G01N21/88;G01N21/01;G01N21/952;G03B15/02
摘要
本申请提供一种用于球面光学元件表面缺陷暗场检测的自适应孔径角环形照明系统和方法，属于光学检测技术领域。本申请提供的系统包括环形照明模块、孔径角调节模块、远心成像模块和控制模块，控制模块判断球面表面镜面反射光是否满足进入成像系统的空间约束和角度约束，据此确定照明孔径角，孔径角调节模块通过变焦镜组或多级照明镜组将环形照明光束调节为平行光或不同会聚程度的光束，使球面表面的镜面反射光偏离成像系统接收范围，而缺陷散射光被成像系统采集。本申请提供的用于球面光学元件表面缺陷暗场检测的自适应孔径角环形照明系统和方法，用以抑制反射光干扰，提高球面光学元件表面缺陷暗场成像的对比度、稳定性和适配性。
转化信息
- 许可费
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