技术专家

南方科技大学机械与能源工程系长聘教授（研究员）、博士生导师。担任广东省精密光学工程重点实验室主任、深圳市半导体专用设备工程研究中心主任、华为-南方科技大学超精密制造与测量创新实验室主任。课题组面向半导体、陶瓷和金属材料开展原子级超精密制造关键技术研究。