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12

12英寸晶圆级TSV微系统中试平台

已认证
中试中心国家级（工信部首批重点培育中试平台，2025年公示）
陕西/西安市（待核实）

载体简介

工信部首批重点培育中试平台（信息技术领域），由西安微电子技术研究所承担，聚焦12英寸晶圆级TSV微系统制造中试

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